光學(xué)微電子凈化廠(chǎng)房

光學(xué)微電子凈化工程

光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線(xiàn)路板制造和生物化學(xué)、醫藥、食品制造等行業(yè)*的重要設施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng )新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目

1、 潔凈生產(chǎn)區

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復以上過(guò)程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數

換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。

溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

 

光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)

A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:

LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線(xiàn)和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

在本設計里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間，其凈化潔凈度一般為千級或萬(wàn)級或十萬(wàn)級。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間，其潔凈度一般為萬(wàn)級或十萬(wàn)級。

B、室內空氣參數要求 ：

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內排風(fēng)和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。

(3)送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數，是≥15次/h)。