潔凈室等級標準和標準ISO14644一樣,都是根據懸浮粒子濃度這個(gè)指標來(lái)劃分潔凈室(區)及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um范圍內呈累積分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
一、潔凈室的空氣潔凈度,應進(jìn)行下列測試:
空態(tài)測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài),室內沒(méi)有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試;靜態(tài)測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài),工藝設備已安裝,室內沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試;動(dòng)態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試,潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關(guān)規定執行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測試
檢測前,應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進(jìn)行*清潔。采用光散射粒子計數器對空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測試。首先測定空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側靜壓箱內(或風(fēng)管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30,000粒/升。如若不夠,可引入煙霧,然后開(kāi)始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離空氣過(guò)濾器2--3厘米處,可以2~4厘米/秒的速度移動(dòng),對空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過(guò)3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進(jìn)行堵漏。
測試內容:總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等;潔凈室壓力值;層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向;潔凈工作區的潔凈度;室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;潔凈室內噪聲。
潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。
三、動(dòng)態(tài)測試。在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行,測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。
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